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回轉(zhuǎn)CVD設備 BTF-1200C-V-R-280

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面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地合肥市
  • 更新時間2023-11-21
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)合肥市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量296
  • 人氣值7457
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安徽貝意克設備技術(shù)有限公司坐落在合肥市高新區(qū)科學大道110號,是一家專注于新材料、新能源、裝備設備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的*,合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問,其中千人一位,青年千人2位,教授3位。公司擁有400平米的重點實驗室,部分實驗室對外開放。涉及領域包括,石墨烯、碳納米管、高溫熒光粉、OLED有機小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。另外公司擁有智能高低溫CVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐,各種高低溫箱式爐、等離子清洗設備、RF濺射設備、各種壓力的手動自動壓片機、各種功能尺寸的手套箱、各種功能的球磨機、金屬陶瓷切磨拋設備、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等設備。

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一、設備特點:1、本設備提供一個五溫區(qū)的超長溫場,五個溫區(qū)可獨立控制2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動開啟
回轉(zhuǎn)CVD設備 BTF-1200C-V-R-280 產(chǎn)品詳情

一、設備特點:

1、本設備提供一個五溫區(qū)的超長溫場,五個溫區(qū)可獨立控制

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動開啟。

3、流量計和加熱采用模塊化設計,便于維護保養(yǎng)。

4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,使用溫度可以達到1200度,溫場均勻,使用壽命長。

5、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數(shù)設置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄保持。

6、設備集成化設計、以及集成化管理,美觀方便。

 

二、設備組成:加熱系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng),螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

1、加熱系統(tǒng):

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研實驗處理,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件為K型熱電偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預,可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

 

2、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng):

爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)更均勻。

 

3、螺旋送料器:

先將樣品儲存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。送料完成之后送料桿退回到原始位置。周而復始,達到自動送料。

4、供氣系統(tǒng):

供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。

5、真空系統(tǒng):

真空機組,內(nèi)部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

 

 

三、加熱主體設備技術(shù)參數(shù):

 

腔體尺寸

外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區(qū)域尺寸)

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

加熱元件

進口KTL電阻絲

加熱區(qū)數(shù)量

5區(qū),每個溫度獨立控制,使溫場均勻性更好

加熱區(qū)長度

300+300+300+300+300mm

恒溫區(qū)長度

真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,五個溫區(qū)設定同一溫度使恒溫區(qū)可達1200mm

溫度

1200℃

建議長時間使用溫度

<1100℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

設備功率

28KW

設備工作電源

380V/50HZ

熱電偶型號

K型

控制器

可編程控溫儀表,PID調(diào)節(jié),升、降保溫全自動

控溫方式

人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

無紙記錄

內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

結(jié)構(gòu)描述

設備可對半電動開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

轉(zhuǎn)動密封收集系統(tǒng)

爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動水冷法蘭、螺旋送料裝置

 

四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號根據(jù)要求定制)

耐壓

3MPa

接口

Φ6

顯示

液晶屏顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

 

五、真空機組參數(shù):

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

60m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF40

排氣口口徑

KF40

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

電阻真空計參數(shù):

配用規(guī)管:

ZJ-52T電阻規(guī),

測量范圍:

10 5 ~10 -1 Pa,

測量路數(shù):

1路

控制范圍:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

電源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W

 

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