RGL JOINT日本進口GF40數(shù)字質(zhì)量流量控制器

| 用法 | ||
| ||
規(guī)格表 | |||||
| 流速 | 控制器 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 當量 | |||
| 儀表 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 當量 | ||||
| 準確性 | ±1%SP (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||
| 再現(xiàn)性 | <±0.2%SP | ||||
| 環(huán)境溫度范圍 | 5-50℃ | ||||
| 外部泄漏率 | GF40 1×10 -10 Pa?m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa?m3 /s He | ||||
| 輸入/輸出 | 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA | ||||





































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