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公司介紹主營產(chǎn)品

河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開發(fā)?制造?經(jīng)營為一體的*創(chuàng)新型企業(yè)，產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美，覆蓋國內大多數(shù)實驗室，諾巴迪品牌已經(jīng)成為受客戶歡迎和信任的品牌之一。

公司以科技創(chuàng)新為主，服務客戶為宗旨，積極研究開發(fā)新產(chǎn)品，奉獻于教育和科研，經(jīng)過*的研發(fā)和不斷的技術積累，擁有熱工、制造、控制相關技術30余項，為化學、物理、材料、電子、高分子工程、新材料制備和研發(fā)領域的科學研究提供了精良設備。公司通過引進“千人”強強聯(lián)合，形成了有效的信息、技術交流平臺，為諾巴迪化發(fā)展提供了強有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)29個系列178款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括管式爐、真空爐、升降爐、快速退火爐（RTP)、箱式爐、澆注爐、旋轉爐等，主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，遠銷歐美及東亞地區(qū)，多款設備取得了歐盟CE認證。

公司與“新世紀材料基因組工程研究院”有多層次的戰(zhàn)略合作關系，建有開放實驗室，新能源新材料領域的千人教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴謹?shù)募夹g研發(fā)能力、科學合理的生產(chǎn)工藝、精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質量和服務工作，我們諾巴迪人時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）

PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）產(chǎn)品詳情

設備簡介：

該PECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實驗提供包含有毒液體在內的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線控制技術的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應和材料表面的化學反應過程，并在適當?shù)臏囟认鲁练e薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學性能、良好的襯底附著性以及的臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用。

配置詳情

	主要特點： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內的反應氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開啟式結構，方便觀察試樣； 4. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5. 設備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！
設備型號	NBD-PE1200-80TID2FY
供電電源	AC220V 50/60HZ
控溫精度	±1℃
觸摸屏尺寸	7英寸
射頻頻率	13.56MHz
射頻功率輸出范圍	0-200W
沉積加熱額定功率	4.0KW
蒸發(fā)器額定功率	1.3KW
伴熱帶額定功率	75W
傳感器類型	K型熱電偶
沉積溫度	1200℃
沉積額定溫度	1150℃
蒸發(fā)器額定溫度	400℃
伴熱帶額定溫度	150℃
推薦升溫速率	≤10/min
沉積管徑	Φ80mm*1200mm
蒸發(fā)源管徑	Φ50mm*80mm
蒸發(fā)源有效容積	50ml
PECVD 外形尺寸	長1500×高1280×深760mm
蒸發(fā)器外形尺寸	長410×高350×深210mm
氣氛條件	混合氣、真空等
機械泵抽氣速率	16 立方米每小時
爐腔極限真空度	3~5Pa
法蘭結構	航空鋁快開模式；
操作系統(tǒng)	NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機對話模式；
真空測試	數(shù)字真空計獲取裝置；
設備細節(jié)
部分界面
凈重	約300KG
設備使用注意事項	1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配； 2.若采用手動匹配，將功率設到60W左右，手動調諧匹配合適時，再增加功率
服務支持	一年有限保修，提供終身支持；

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關鍵詞：控制系統(tǒng) 觸摸屏蒸發(fā)器

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