氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100A產(chǎn)品亮點: |
-類 型:MFC氣體質(zhì)量流量控制器 -控制范圍:30slpm ~ 125slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分) -準(zhǔn)度等級: ±1% F.S -耐 壓:≤70bar -標(biāo)準(zhǔn)接口:0-5VDC,4-20mA可選 -響應(yīng)時間:≤2sec -使用范圍:2~99% for max range -供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率:1×10-9atm·cc/sec -氣路連接:1/ |
-適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體) |
-無需溫度、壓力補償
氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100A
應(yīng)用領(lǐng)域:
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術(shù) -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機 -混氣配氣系統(tǒng) -微反應(yīng)裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業(yè)































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