項(xiàng)目

設(shè)備技術(shù)指標(biāo)選擇

加熱系統(tǒng)

晶體生長(zhǎng)環(huán)境選擇

氧化氣氛/保護(hù)氣氛/真空狀態(tài)

長(zhǎng)晶溫區(qū)選擇

單溫區(qū)200mm /300mm/400mm

雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

三溫：200+200+200mm

反應(yīng)腔尺寸選選擇

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100（更多選擇聯(lián)系客服）

主控工作溫度

1150℃/1650℃

控溫精度

300~1150±0.5℃

主控爐膛材料

高純多晶纖維復(fù)合耐火保溫層

主控爐膛模式

環(huán)形加熱整體密閉

密封方式

水冷不銹鋼密封法蘭

提拉系統(tǒng)

長(zhǎng)晶模式選擇

坩堝下降法 /坩堝平移法

物料裝載模式

上吊裝下推進(jìn)模式/下裝載模式

晶體運(yùn)動(dòng)方式選擇

坩堝只移動(dòng)/ 坩堝移動(dòng)并旋轉(zhuǎn)

結(jié)構(gòu)

雙層滑軌結(jié)構(gòu)，C7大力距滾珠絲杠，SPY鋁托硬光軸直線導(dǎo)軌

長(zhǎng)晶進(jìn)給系統(tǒng)

伺服進(jìn)給高精度運(yùn)行平穩(wěn)，大扭矩諧波減速進(jìn)給速度30μm/hr~30000μm/hr可調(diào)，物料下推進(jìn)運(yùn)動(dòng)模式，無(wú)旋轉(zhuǎn)

裝料密封方式

電動(dòng)密封法蘭

裝料密封電機(jī)

57CM23閉環(huán)步進(jìn)電機(jī)，平穩(wěn)高速

供氣系統(tǒng)

流量計(jì)選擇

1/2/3路質(zhì)子子流量計(jì)100sccm 200sccm ,500sccm

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道（1/4"）

調(diào)節(jié)閥類型

手動(dòng)調(diào)節(jié)閥

管道常態(tài)

常閉

測(cè)量精度

±1.0%F.S

線性度

±0.5%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

壓力范圍

-0.1-0.15 MPa

響應(yīng)時(shí)間

2S

工作環(huán)境溫度

(15～50℃)

精度保證溫度

(15～35℃)

真空系統(tǒng)

真空類型選擇

NBD-4C真空泵/ NBD-1013A 分子泵系統(tǒng)

真空計(jì)類型

數(shù)字真空計(jì)/模擬真空計(jì)

系統(tǒng)真空

≤5pa /2.8*10-3pa

操控系統(tǒng)

操控模式

NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，10寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式；

長(zhǎng)晶工藝設(shè)置

可預(yù)存15組工藝曲線，工藝曲線包括溫度，氣體流量，晶體進(jìn)給速度（長(zhǎng)晶速率），任意調(diào)用；長(zhǎng)晶結(jié)束，報(bào)警提示，并生成實(shí)驗(yàn)報(bào)告導(dǎo)出，（）包含但不限于溫度，氣體流量，進(jìn)給速率等）

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統(tǒng)全程進(jìn)行非線性修正（詢問(wèn)客戶長(zhǎng)晶溫度點(diǎn)，可做特別效驗(yàn)）

實(shí)現(xiàn)功能

可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態(tài)生長(zhǎng)的各類晶體（坩堝下降法）

系統(tǒng)保護(hù)

超溫報(bào)警，過(guò)流保護(hù)，斷偶提示

隨機(jī)產(chǎn)品配置

反應(yīng)腔1根 ，鎳鉻鋁吊絲5米 ，說(shuō)明書(shū)1份;隨機(jī)工具等。

服務(wù)項(xiàng)目

運(yùn)輸及保險(xiǎn)費(fèi)，包裝費(fèi),安裝及技術(shù)服務(wù)費(fèi)； 提供12個(gè)月質(zhì)保，觸控系統(tǒng)24個(gè)月，終身保修