CIS 系列封閉式離子源分析儀

憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測(cè)限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包，CIS 系統(tǒng)將滿足您的應(yīng)用。在線過程監(jiān)測(cè)和控制、在使用點(diǎn)驗(yàn)證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)的一些領(lǐng)域。

緊湊型設(shè)計(jì)

鍍金離子發(fā)生器

該探頭由一個(gè)四極質(zhì)譜儀和一個(gè)安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內(nèi)的 CIS 離子發(fā)生器組成?？刂茊卧苯影惭b在探頭的饋通法蘭上，并包含操作儀器所需的所有電子設(shè)備。CIS 接頭的側(cè)端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測(cè)器保持在高真空狀態(tài)的差動(dòng)泵系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)可以通過其標(biāo)準(zhǔn) CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到處理室。該裝置是自對(duì)準(zhǔn)的，具有簡(jiǎn)單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì)。您可以清潔和重新組裝探頭，并在現(xiàn)場(chǎng)更換燈絲和電子倍增器，而無(wú)需致電工廠。

鍍金離子發(fā)生器

整個(gè)離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號(hào)，提高了長(zhǎng)期穩(wěn)定性，并允許在暴露于反應(yīng)性和腐蝕性氣體時(shí)進(jìn)行操作。使用鎢絲，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應(yīng)性氣體，并延長(zhǎng)使用壽命。電離器的封閉（氣密）設(shè)計(jì)可防止常見的干擾物質(zhì)回流到電離體積中。這會(huì)產(chǎn)生沒有光譜重疊的峰。

探測(cè)器的選擇

CIS 系列分析儀標(biāo)配法拉第杯檢測(cè)器（10 ppm 檢測(cè)）和連續(xù)打拿極電子倍增器（1 ppm 檢測(cè)）。該軟件允許您在檢測(cè)器之間輕松切換。

電子倍增器

多功能性

CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式”。在這種模式下，裝置具有較低的最小可檢測(cè)分壓，但也具有較低的工作壓力。例如，RGA 模式用于濺射工藝的階段，此時(shí)腔室被抽空至低壓，并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式，以便在較高壓力下直接采樣。

可編程性

提供標(biāo)準(zhǔn) RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監(jiān)控所有探頭參數(shù)，并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應(yīng)用程序。

視窗軟件

模擬模式

CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。該程序是交互式的，使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進(jìn)行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或按給定時(shí)間間隔計(jì)劃采集數(shù)據(jù)，以進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視頻警報(bào)以及全面的在線幫助。該軟件允許通過簡(jiǎn)單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析，數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存，以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù)，使臨時(shí)用戶無(wú)法更改重要設(shè)置。

可選的獨(dú)立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒有主機(jī)的情況下控制 RGA。

壓力與時(shí)間

多頭操作

當(dāng)需要多個(gè) CIS 時(shí)，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。

泵送要求

CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎(chǔ)壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統(tǒng)。連接端口是一個(gè) 2.75" Conflat ® 法蘭。選項(xiàng) O100TDP 提供一個(gè)渦輪泵，它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 頭上。訂購(gòu)此選項(xiàng)時(shí)，整個(gè)分析儀都在工廠組裝、測(cè)試和校準(zhǔn)。用戶可以提供自己的泵站；但是，用戶有責(zé)任確保泵系統(tǒng)不會(huì)損壞或限制儀器的性能。

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能

圖書館模式

SRS CIS 系統(tǒng)以競(jìng)爭(zhēng)模型的一小部分成本提供的性能。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括法拉第杯探測(cè)器、電子倍增器探測(cè)器和 Windows 軟件。選項(xiàng)包括用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊，以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。

獨(dú)聯(lián)體尺寸圖

獨(dú)聯(lián)體參數(shù)	范圍	獨(dú)聯(lián)體模式	RGA模式
電子發(fā)射電流 (mA)	0到1	0.05	0.5
電子能量 (eV)	25 至 105	70 或 35	70
離子能量 (eV)	4 或 8	4 或 8	4 或 8
提取電壓 (V)	0 到 -150	-50（典型值）	-50（典型值）
靈敏度 (A/Torr) （對(duì)于 N 2 @28 amu）		10 -6	10 -5
線性范圍上限 (Torr)		2×10 -3	10 -4
MDPP (托)		10 -8	10 -9

筆記

1. CIS 測(cè)試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進(jìn)行，由隔膜泵支持，連接到 CIS Cover Tee 的側(cè)端口。2. 報(bào)告的 RGA 模式靈敏度是針對(duì)低于 10 -5  Torr的 N 2
計(jì)算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對(duì) N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計(jì)算的。4. MDPP（最小可檢測(cè)分壓）通過在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情況下測(cè)量法拉第杯檢測(cè)的基線水平來確定

 托（CIS 模式）。當(dāng)電子倍增器打開時(shí)，可檢測(cè)性可提高多達(dá) 3 個(gè)數(shù)量級(jí)。