MBE 系統(tǒng)

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品牌
所在地
更新時間2023-02-26

科睿設(shè)備有限公司

廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
所在地區(qū)上海市
實名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量122
人氣值3688

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產(chǎn)品描述：MBE 系統(tǒng) 在線訂購

MBE 系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

MBE系統(tǒng)

帶快速進樣室的獨立 MBE 系統(tǒng)

本底真空優(yōu)于2x10^-10mbar
4 軸操縱器，可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和液氮LN₂冷卻
Load-Lock進樣室與線性傳輸桿，使樣品夾具傳輸方便。最多可存儲6個樣品夾具。
沉積室包含用于 RHEED 槍、離子槍、光束通量監(jiān)視器、石英晶體天平等的端口。
可更換底部法蘭，帶專用起重推車
沉積室中可防止交叉污染

樣品沉積室配備了用于分析儀器等的其他端口。

根據(jù)蒸發(fā)源的類型和數(shù)量以及基板大小，可提供不同的標(biāo)準(zhǔn)襯底尺寸：直徑300mm、直徑450mm 和直徑570mm（根據(jù)要求的其他尺寸）。

關(guān)鍵詞：監(jiān)視器石英晶體天平標(biāo)準(zhǔn)

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