

●射頻發(fā)生器是 E 類標準,對穩(wěn)定性和濺射坑形狀都進行了優(yōu)化以滿足實時表面分析。
●射頻源可以分析傳統(tǒng)和非傳統(tǒng)鍍層和材料,對于易碎樣品,還可以使用脈沖式同步采集優(yōu)化測試。
●從 110nm到 800nm 同步全光譜覆蓋,包括分析 H、O、C、N 和 Cl 的深紫外通道。
HORIBA 研發(fā)的離子刻蝕型全息光柵具有高的光通量和光譜分辨率,光學效率和靈敏度都表現(xiàn)優(yōu)良。
●HDD 探測器兼具檢測速度和靈敏度。
●內(nèi)置的微分干涉儀DIP可實時測量濺射坑深度和剝蝕速率。
●寬敞簡潔的大樣品倉易于裝卸樣品,操作簡單。
●QUANTUM™ 軟件配置了Tabler 報告編寫工具。
●激光中心定位裝置(正在申請)可定位樣品測試位置。
HORIBA 的輝光放電光譜儀可以選配單色儀,實現(xiàn)n+1元素通道的同時也提高了設備的靈活性。



配置





































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