超大量程熱式氣體質(zhì)量流量控制器DC-B1000C:氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器能用來(lái)測(cè)量單一氣體的結(jié)構(gòu),緊湊的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器能用來(lái)測(cè)量和控制多種氣體高度集成的定制閥組。主要的技術(shù)優(yōu)點(diǎn):基于熱式毛細(xì)管技術(shù),模塊化的設(shè)計(jì);極其緊湊的尺寸;高精度,線性和重復(fù)性穩(wěn)定;快速響應(yīng)時(shí)間;多種氣體/多量程范圍可選。

超大量程熱式氣體質(zhì)量流量控制器DC-B1000C:熱式氣體質(zhì)量流量控制器和熱式流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的流量?jī)x表。即利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD,一只用來(lái)做熱源,一只用來(lái)測(cè)量流體溫度,當(dāng)流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過(guò)微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。

采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù),能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償,廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。













































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