
模擬型氣體質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數(shù)
量程: 5sccm~3000slm(N2當(dāng)量)
精度: ±1.0%F.S
量程比: 50: 1 (流量控制器) 100: 1 (流量計)
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
線性精度: ±0.5%F.S
環(huán)境溫度: 5~45°C
溫度系數(shù):<±0.1%F.S/°C
壓力系數(shù):<±0.5%bar
泄漏率: <2* 10-8satm. ml/S
耐壓: 3MPa (流量小于30slm 可選6MPa)
供電: +15~24vdc
模擬信號:0~5vdc 或4~20mA
連接方式:卡套式連接或VCR連接
(連接尺寸根據(jù)客戶需求而定)





































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