儀器介紹:
TMF-HG系列智能陶瓷纖維真空氣氛管式馬弗爐設(shè)計(jì)用于1000~1700℃以下CVD工藝。采用開(kāi)啟式設(shè)計(jì),方便樣品操作及爐管更換。高純電阻絲內(nèi)嵌在輕質(zhì)陶瓷纖維材料中,周邊拓展系統(tǒng)齊全,適合高校、科研院所實(shí)驗(yàn)之使用。
TMF-HG系列智能陶瓷纖維真空氣氛管式馬弗爐儀器特點(diǎn):
uzui高溫度1100℃、1700℃。
u分體式設(shè)計(jì),降溫速率快。
u工作管徑范圍φ30mm、φ40mm、φ50mm、φ60mm、φ80mm、φ100mm。
u高純氣煉石英管或者高純陶瓷管。
u輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料,耐熱沖擊性好,蓄熱低。
u快速升溫,升溫速率可達(dá)10℃。
u半導(dǎo)體繼電器控制加熱元器件,控溫精確,壽命長(zhǎng),無(wú)噪音。
u多段程序控溫,PID調(diào)節(jié),可編制多種升降溫程序。
u超溫保護(hù)功能,超溫自動(dòng)斷電。
可選配置:
u真空泵
u多區(qū)控溫,兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列(如下圖)
u瑞典kanthal 電熱絲
u數(shù)顯真空計(jì)(高精度顯示真空值)
u多路氣氛混氣系統(tǒng)(浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì))
u無(wú)紙紀(jì)錄儀(帶通訊端口)































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