勻膠、顯影處理系統(tǒng)-AutoTrack

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所在地
更新時間2022-04-05

福芯科技（香港）有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)香港
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量65
人氣值1614

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勻膠、顯影處理系統(tǒng)-AutoTrack

勻膠、顯影處理系統(tǒng)-AutoTrack 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點：

同一設(shè)備實現(xiàn)2"-8"晶圓兼容.

涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復(fù)功能.

同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行.

干濕分離，電液分隔.

維護省力、簡便.

設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計，不受外環(huán)境干擾可獨立增加層流罩，提升小環(huán)境潔凈度.

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