日立FS200 超聲波影像裝置

利用可以裝卸兩側的大型窗、LED照明、探頭識別功能（根據(jù)不同的機型作為標準配置）、電源開關的保護蓋、前面透明面板、并設置有傳感器等，讓您使用更方便。而且，通過探頭的自動識別功能，可以防止誤設定而損壞探頭。

為了便于取放試件，開口部一直擴展至上方。在開口部的整個區(qū)域內設置有區(qū)域傳感器，作為標準配置，還配置有急停按鈕、漏水傳感器、門傳感器、鑰匙開關等安全機構。另外，在FS200、FS300還配有探頭自動識別功能。

日立FS200 超聲波影像裝置

高性能超聲波組件和高精度掃描儀組合，微小的缺陷也不會漏檢。

日立 FS200 分析各種軟件不斷進化

滿足高精度需求的高分辨率SAT

通過組合頻率達500MHz的高靈敏度組件、高精度掃描儀與日立開發(fā)的高分辨率探頭，可以檢測細微的縫隙。

從大范圍到極小范圍，涵蓋各種各樣的試件

實現(xiàn)高精度測量，能夠掃描最小間距0.5μm，在一次測量中，可以以微小間距測量硅晶片、JEDEC托盤等。而且，從厚到薄，涵蓋了廣泛的測量對象，從而豐富了探頭系列，從低頻到高頻均有，透射法測量的精度更高。

更快更方便地獲得可靠性更高的數(shù)據(jù)

通過采用高速、高精度掃描儀以及新型圖像處理單元，可以在短時間內獲得再現(xiàn)性高的數(shù)據(jù)。而且，在依據(jù)登錄條件進行測量的圖像索引，以及連續(xù)自動測量多個試件的網(wǎng)格掃描中，設置了補償功能，可以補償中心位置以及試件高度，從而提高了數(shù)據(jù)的可靠性。主機開口部較寬敞，利用升降機（選購）可以快捷、方便地更換試件。

型號

FS100Ⅲ

FS200Ⅲ

FS300Ⅲ