FMA-LP2600A系列質(zhì)量流量控制器 在層流場(chǎng)中使用 差壓原理來(lái)檢測(cè)并控制質(zhì)量流量。 流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使 氣體進(jìn)入層流狀態(tài)（經(jīng)過(guò)整流處理）。按照泊肅葉方程， 在這一區(qū)域體積流量 與壓降呈線性 關(guān)系。使用差壓傳感器 測(cè)量LFE固定距離的 壓降情況。同時(shí)結(jié)合氣體的粘度 準(zhǔn)確判定體積流量。 引入單獨(dú)的溫度和壓力傳感器， 并根據(jù)一系列標(biāo)準(zhǔn)條件 修正氣體流量。這種標(biāo)準(zhǔn)化 流量通常稱(chēng)為質(zhì)量流量， 使用標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘(SCCM) 或標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(SLM)等 單位表示。

控制器使用真正的比例閥聯(lián)接到 流體，以便使用積分式 PID回路控制器來(lái)控制流量。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括 0 ~ 5V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232 通信?？蓮那岸随I盤(pán)或 通過(guò)RS232通信調(diào)整氣體 選擇功能和設(shè)定值。體積流量、質(zhì)量 流量、壓力以及溫度均可 通過(guò)RS232連接查看或記錄。 在距離為46m（150’）的同一串口連接上，同時(shí)多可與26臺(tái)設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通信。