SmartTrak 140超低壓損氣體質(zhì)量流量控制器：

特征：

• zui高可控制氣體流量為500slpm（nlpm），壓損為4.5psid(310mBard)
• 高精度：±1.0%滿量程
• 高重復(fù)性：±0.2%的滿量程
• 真正的線性性能：10種標(biāo)準(zhǔn)氣體的線性度均為±1.0%滿量程
• 使用Dial-A-Gas 技術(shù)內(nèi)置了10種不同的氣體。
• 精密的數(shù)字PID閥門控制，自動(dòng)調(diào)節(jié)。
• 大的閥門流通系數(shù)（Cv），確保在低壓差情況下精確控制氣體流量。
• 的線性層流器元件（LFE）
• *的鉑金毛細(xì)管傳感器技術(shù)
• 全 316不銹鋼表體
• *的引導(dǎo)模塊（固定或手持）可方便查看或更改關(guān)鍵參數(shù)
• 避免現(xiàn)場(chǎng)重新調(diào)零和調(diào)節(jié)zui大值
• 有多重模擬和數(shù)字輸出可選：PS-232，RS-485，4-20Ma，0-5，1-5，0-10VDC
• 基準(zhǔn)式標(biāo)定，證書可溯源至NIST
• 數(shù)字通訊支持：參照100系列（P1）
• 可選Compod添加Modbus組成網(wǎng)絡(luò)通訊，包括繼電器，累計(jì)器、輸入和顯示。

性能參數(shù)：

• 精度：
• 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定：±1.0%滿量程及工作條件下的線性度（100M在201-300slpm時(shí)精度為2%的滿量程）
• Dial-A-Gas®：±1.0%的滿量程（所有內(nèi)置的10種氣體）
• 重復(fù)性：±0.2%的滿量程
• 溫度系數(shù)：±0.025%的滿量程每°F（0.05%的滿量程°C）或更小
• 壓力系數(shù)：±0.01%的滿量程每psi（0.15%的滿量程bar）或更小
• 響應(yīng)時(shí)間：
• 600ms的時(shí)間常數(shù)，4秒（典型的）達(dá)到zui終的±2.0%

工作條件：

質(zhì)量流量：
0-500slpm

氣體：可測(cè)量及控制所有清潔氣體包括腐蝕性和有毒氣體，訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)指明。

氣體和環(huán)境溫度：
32到122°F（0到50°C）
氣體壓力：
zui大500psig（34bar）

壓降

泄露參數(shù)：
5X10-9atm cc/sec 氦氣或更低
控制范圍：
2-滿量程，1.9%時(shí)閥門自動(dòng)關(guān)斷
輸出信號(hào)：
模擬：
線性4-20mA，500歐姆zui大環(huán)路電阻和下列之一（用戶可選）
線性0-5VDC，1000歐姆zui小負(fù)載電阻
線性0-10VDC，1000歐姆zui小負(fù)載電阻
線性1-5VDC，1000歐姆zui小負(fù)載電阻
控制信號(hào)：
模擬（任選一個(gè)）：
線性：4-20mA，0-5VDC，0-10VDC，1-5VDC
電源要求:（紋波峰谷值波動(dòng)不應(yīng)該超過100mV 24VDC±10%(800mA，可調(diào)節(jié))
與介質(zhì)接觸材質(zhì)：
316不銹鋼或相同規(guī)格的不銹鋼，416不銹鋼，Viton或Neoprene“O”型圈和Viton，Neoprene 或者 Kalrez材料閥座