平膜式氣體流量傳感器及其制造方法。它涉及流量傳感器領(lǐng)域，它解決了氣體流量傳感器結(jié)構(gòu)尺寸較大、功耗較高，且不易于批量生產(chǎn)，成本較高的缺點。它的單晶硅片的上下表面分別生成絕緣層，在上部絕緣層上依次生成過渡層和敏感金屬層，并刻蝕為加熱電阻、測溫熱敏電阻和控制電阻并平行。

 

    電極透過覆蓋在單晶硅片上表面的鈍化保護層連接敏感金屬層，單晶硅片底部開有沉槽和矩形導流槽，其開設(shè)方向分別平行和垂直電阻刻蝕方向。方法按以下順序依次制作絕緣層、底面腐蝕窗孔、敏感金屬層、金屬薄膜電阻、鈍化保護層、引線孔、電極和截面為杯形的沉槽和矩形導流槽至完成。它提高了傳感器的穩(wěn)定性和可靠性，具有響應(yīng)速度快和靈敏度高、功耗低的特點。

 

    傳感器，顧名思義肯定是有傳遞某種信息或者信號的功能。其實很多人不知道傳感器在我們?nèi)粘Ｉ钜约肮ぷ髦械膽?yīng)用是相當廣泛的，就比如氣體流量傳感器，可以用于火災(zāi)報警器，具體一點就是一氧化碳傳感器，還有一些超聲波液位傳感器、位置傳感器、電流傳感器、meas壓力傳感器等，那么這些傳感器各自的屬性是什么樣的呢?

 

    1、美國Siargo氣體流量傳感器模塊-FS6122系列特點：

 

    專門為醫(yī)療持續(xù)正壓通氣(CPAP)應(yīng)用而設(shè)計;直接測量質(zhì)量流量和相對壓力;緊湊設(shè)計，體積小，死腔小，低功耗;響應(yīng)時間快，可同時提供線性數(shù)字信號和模擬信號;

 

    2、英國SSTLPS系列直線位置傳感器-LPS系列特點：

 

    玻璃纖維尼龍傳感器體;10mm電氣行程和彈簧壓載式活塞;機械耐久壽命3,000,000次;公差±20%、磁滯<3.0%;配備回位彈簧500V時絕緣電阻大于10M歐姆;非?？煽?、堅固耐用、使用簡便、長壽命、易于安裝、可靠的技術(shù)、輕松定制;

 

    3、美國CRMAGNETICSINC霍爾電流傳感器-CR5411特點：用來提供一個可以按照比例反應(yīng)電流輸入波形的一種雙極性輸出;這些設(shè)備特定的用在一些應(yīng)用上，比如多模電流檢測;非接觸式電流傳感器，DIN導軌或面板安裝;平均故障間隔時間：100K小時;